| 发明名称 | 制造平板显示器的系统 | ||
| 摘要 | 在此公开了一种平板显示器(FPD)的制造系统，其包括一个或多个沿成行路线连续地移动衬底的衬底传送线、以及多个彼此叠置以用于载入和卸下完成处理后的衬底的载荷锁定腔，从而对可衬底进行有效的处理。 | ||
| 申请公布号 | CN101308773A | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200810089138.8 | 申请日期 | 2006.05.26 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;韩明宇;金允基;权孝重;曺生贤;金银石;崔银烈 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01J37/32(2006.01);H05H1/00(2006.01);H05H1/24(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 章社杲;吴贵明 |
| 主权项 | 1.一种平板显示器的制造系统，包括：一个具有开口上端的下腔；以及设置在所述下腔的所述开口上端上并且打开/关闭所述下腔的所述开口上端的上电极。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||