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发明名称 OXYGEN ANNEALING
摘要
申请公布号 US3620850(A) 申请公布日期 1971.11.16
申请号 USD3620850 申请日期 1970.03.25
申请人 FAIRCHILD CAMERA AND INSTRUMENT CORP. 发明人 BRUCE E. DEAL
分类号 H01L21/316;H01L29/00;(IPC1-7):H01L7/34 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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