一种低污染等离子体放电腔

摘要

本实用新型专利公布了一种低污染等离子体放电腔，主要功能是产生高密度的高温等离子体。其结构由进水管、上水套、出水管、下水套、腔体、水槽等组成，各部件由铝合金材料制成，并用环氧树脂胶粘接固化连接；由于铝合金材料在高温下生成氧化物的结构致密且不易脱落，从而减少了对等离子体成分的污染；由于各部件之间的连接使用环氧树脂胶固化粘接，没有焊接缝，消除了放电腔焊接缝漏气漏水的问题，提高了放电腔的可靠性，因而，具有自身污染小和结构可靠的特点。

主权项

1.一种低污染等离子体放电腔，由进水管(2)、出水管(7)、上水套(3)、下水套(8)、腔体(9)和水槽(10)组成；其特征在于：放电腔的结构为整体式结构；组成放电腔的部件是由金属制成，各部件的连接由环氧树脂胶粘接固化而成；放电腔内表面在高温等离子体环境中产生致密的、不易脱落的三氧化二铝层，从而避免放电腔体继续被氧化，避免了氧化物对等离子体成分的污染；其连接关系为：进水管(2)与上水套(3)用环氧树脂胶粘连，出水管(7)与下水套(8)用环氧树脂胶粘连，上水套(3)与下水套(8)置于腔体(9)外侧合拢后用环氧树脂胶粘连，在腔体与上下水套之间形成水槽(10)。