用于分子泵的涡轮叶片

摘要

一种用于分子泵的涡轮叶片，主要特点在于：所述的涡轮叶片的整体轮廓为圆盘状，在其部位为开有安装孔的圆盘，在所述的圆盘的周围开有叶齿，所述的叶齿在径向沿圆周均布。所述的叶齿为台阶式变截面叶齿。所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成倾斜角。所述的台阶式变截面叶齿的台阶数≥2道，所述的台阶式变截面叶齿的台阶面为弧面1，台阶根部2为倒角或圆弧过渡。所述的弧面1半径为8－15cm。本实用新型结构比较简单，工艺相当稳定，便于制造。更为重要的是，在高速运转时具有很高的强度，明显提高了使用寿命。

主权项

1.一种用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：所述的涡轮叶片的整体轮廓为圆盘状，在其中央部位为开有安装孔的圆盘，在所述的圆盘的周围开有叶齿，所述的叶齿在径向沿圆周均布。