INTEGRATED CIRCUIT AND METHODS OF MEASUREMENT AND PREPARATION OF MEASUREMENT STRUCTURE,申请号EP20020797269-传众专利搜索

发明名称	INTEGRATED CIRCUIT AND METHODS OF MEASUREMENT AND PREPARATION OF MEASUREMENT STRUCTURE
摘要
申请公布号	EP1570514(A4)	申请公布日期	2008.11.19
申请号	EP20020797269	申请日期	2002.12.10
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	BANKE, G., WILLIAM, JR.;DEERING, ANDREW;KASZUBA, PHILIP, V.;MOSZKOWICZ, LEON;ROBERT, JAMES;SLINKMAN, JAMES, A.
分类号	A61M1/00;G01N1/32;G01Q30/04;G01Q30/20;G01R31/28;G06F19/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	A61M1/00
代理机构		代理人
主权项
地址