| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Diffusionsbehandlung von Halbleiterplättchen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH515071(A) |
申请公布日期 |
1971.11.15 |
| 申请号 |
CH19700012869 |
申请日期 |
1970.08.27 |
| 申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
A. MEAD,CARVER;O. MCCALDIN,JAMES |
| 分类号 |
C30B31/04;H01L21/00;(IPC1-7):B01J17/34 |
主分类号 |
C30B31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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