发明名称 |
一种金属半导体场效应发光晶体管及其制作方法 |
摘要 |
本发明公开了一种金属半导体场效应发光晶体管及其制作方法。一种金属半导体场效应发光晶体管,包括衬底和衬底上的缓冲层;包括在缓冲层之上的第一高掺杂n型层及在第一高掺杂n型层之上依次生长的多量子阱层、p型层;包括在缓冲层之上的第二高掺杂n型层,第一高掺杂n型层与第二高掺杂n型层不相连;包括与第二高掺杂n型层欧姆接触的源电极、与p型层欧姆接触的漏电极;其特征在于缓冲层与第一高掺杂n型层、第二高掺杂n型层之间还包括低掺杂n型层,在衬底和缓冲层中嵌入了与低掺杂n型层相连的SiO<SUB>2</SUB>层;还包括与SiO<SUB>2</SUB>层肖特基接触的栅电极。本发明的金属半导体场效应发光晶体管减少了刻蚀损伤,使器件性能得到提升。 |
申请公布号 |
CN101308895A |
申请公布日期 |
2008.11.19 |
申请号 |
CN200810029426.4 |
申请日期 |
2008.07.14 |
申请人 |
华南师范大学 |
发明人 |
郭志友;曾坤;赵华雄;高小奇;孙慧卿;范广涵 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
广州粤高专利代理有限公司 |
代理人 |
何淑珍 |
主权项 |
1、一种金属半导体场效应发光晶体管,包括衬底(10)和衬底(10)上的缓冲层(6);包括在缓冲层(6)之上的第一高掺杂n型层(41)及在第一高掺杂n型层(4)之上依次生长的多量子阱层(3)、p型层(2);包括在缓冲层(6)之上的第二高掺杂n型层(42),第一高掺杂n型层(41)与第二高掺杂n型层(42)不相连;包括与第二高掺杂n型层(42)欧姆接触的源电极(8)、与p型层(2)欧姆接触的漏电极(1);其特征在于缓冲层(6)与第一高掺杂n型层(41)、第二高掺杂n型层(42)之间还包括低掺杂n型层(5),在衬底(10)和缓冲层(6)中嵌入了与低掺杂n型层相连的SiO2层(9);还包括与SiO2层(9)肖特基接触的栅电极(7)。 |
地址 |
510630广东省广州市天河区石牌中山大道西55号 |