| 发明名称 | 外观检查装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供外观检查装置，该外观检查装置具有：第1基板保持部，其以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第2基板保持部，其以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第1基板保持部移动机构，其使第1基板保持部移动；第2基板保持部移动机构，其使第2基板保持部移动；以及控制装置，其控制第1基板保持部移动机构和第2基板保持部移动机构，以使利用第1基板保持部观察基板表面时基板的位置和利用第2基板保持部观察基板背面时基板的位置大致一致。 | ||
| 申请公布号 | CN101308100A | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200810107831.3 | 申请日期 | 2008.05.14 |
| 申请人 | 奥林巴斯株式会社 | 发明人 | 辻治之 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01N21/956(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 党晓林 |
| 主权项 | 1.一种外观检查装置，该外观检查装置具有：第1基板保持部，其以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第2基板保持部，其以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第1基板保持部移动机构，其使第1基板保持部移动；第2基板保持部移动机构，其使第2基板保持部移动；以及控制装置，其控制第1基板保持部移动机构和第2基板保持部移动机构，以使利用第1基板保持部观察基板的表面时基板的位置和利用第2基板保持部观察基板的背面时基板的位置大致一致。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||