在离子注入工艺中通过引入气体而减轻污染和改变表面特性的方法和系统

摘要

在离子注入工艺中通过引入气体而减轻污染和改变表面特性的方法和系统。一种用于离子注入工艺的污染减轻或表面改变系统，包含：气体源(209)、控制器(204)、阀(210)以及处理室(111)。该气体源传送气体给该阀，该气体为大气气体或反应气体而且受控于该控制器。该阀设置在该处理室的上或附近，并且以可控制的方式来调整被传送至该处理室的气体的流速和/或组成。该处理室固定目标装置例如目标晶片，并且使该气体与离子束反应而减轻该目标晶片的污染，和/或改变该处理环境或该目标装置的既有性质以变更其物理或化学状态或特性。该控制器根据存在于该离子束内的污染物、或是不存在该污染物的情形、以及总压或分压分析来选择与调整该气体的组成以及流速。

主权项

1.一种离子注入系统，包括：离子源，用以产生离子束；束线组件，用以将所述离子束导向目标装置；处理室，含有用于接收所述离子束的目标装置；以及气体导入系统，耦合到所述处理室，用以提供气体输入至所述处理室。