| 发明名称 | 长波长微机械可调谐滤波器的结构和制作方法 | ||
| 摘要 | 一种长波长微机械可调谐滤波器的结构，包括：一n型砷化镓衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一下布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的下反射镜；一n型欧姆接触层，该n型欧姆接触层制作在下布拉格反射镜上，用来制作下电极；一空气腔，该空气腔制作在n型欧姆接触层上，用于可调谐；一四臂固支梁，该四臂固支梁制作在空气腔上；一上布拉格反射镜，该上布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的上反射镜；一p电极，该p电极制作在四臂固支梁的上面；一n电极，该n电极制作在n型欧姆接触层的上面。 | ||
| 申请公布号 | CN100435018C | 申请公布日期 | 2008.11.19 |
| 申请号 | CN200610067135.5 | 申请日期 | 2006.04.03 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 吴旭明;王小东;谭满清 |
| 分类号 | G02F1/21(2006.01);H04B10/12(2006.01) | 主分类号 | G02F1/21(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
| 主权项 | 1.一种长波长微机械可调谐滤波器的结构，其特征在于，该结构包括：一衬底，该衬底为n型砷化镓衬底；一缓冲层，该缓冲层制作在衬底上；一下布拉格反射镜，该下布拉格反射镜制作在缓冲层上，是滤波器的下反射镜；一n型欧姆接触层，该n型欧姆接触层制作在下布拉格反射镜上，用来制作下电极；一空气腔，该空气腔制作在n型欧姆接触层上，用于调谐波长；一四臂固支梁，该四臂固支梁制作在空气腔上；一上布拉格反射镜，该上布拉格反射镜制作在四臂固支梁上，是滤波器的上反射镜；一p电极，该p电极制作在四臂固支梁的上面；一n电极，该n电极制作在n型欧姆接触层的上面。 | ||
| 地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 | ||