光罩放置装置之充气结构

摘要

一种光罩放置装置之充气结构，其包含一底座、一壳罩、至少一进气单元及至少一排气单元。该壳罩系结合于该底座之上方，该进气及排气单元系穿设于该壳罩上。利用该进气单元充气，使得本发明具有提升该光罩放置装置之充气结构之充填效率及气体置换率之功效。