基板处理装置之排程作成方法及程式

摘要

一种基板处理装置之排程作成方法，用来预先决定各批之处理顺序，藉以利用具备有多个用以对基板进行处理之处理部的基板处理装置，其在处理多个批时，控制部根据包含有多个处理步骤之处方，操作具备有用以授受基板之基板保持部的搬运部，将各批搬运到各个处理部并且依序进行处理，而上述方法包含有以下之步骤：上述控制部在配置该处理步骤中之进行动态处理的特定处理步骤时，根据先前特定处理步骤之搬运源的处理步骤，和该特定处理步骤之搬运源的处理步骤之组合，决定在该特定处理步骤之前是否配置动态处理之步骤。