| 摘要 |
一种正型光阻组成物，其包括：(A)一种具有由式(I)表示之酸可分解重复单元且因酸之作用增加其在硷显影剂中溶解度的树脂；(B)一种在以光似射线或辐射照射时产生酸之化合物；(C)一种不溶于硷显影剂且具有氟原子与矽原子至少之一的疏水性树脂；及(D)一种溶剂，#P 097110977P01.bmp其中在式(I)中，Xa#sB!1#eB!表示氢原子、烷基、氰基、或卤素原子，Ry#sB!1#eB!至Ry#sB!3#eB!各独立地表示烷基或环烷基，而且Ry#sB!1#eB!至Ry#sB!3#eB!至少之二可连结形成环结构，及Z表示二价键联基。 |
