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经营范围
发明名称
雷射修复系统
摘要
一雷射修复系统系包括一用于产生雷射光之雷射光振荡器,及一开缝单元,其上被雷射光辐照且包括一雷射光阻绝段、一第一开缝段及一第二开缝段,其中开缝单元的雷射光阻绝段并未透射雷射光阻绝段上所入射之雷射光,而透射过第一开缝段之光量系大于透射过第二开缝段之光量。
申请公布号
TW200844620
申请公布日期
2008.11.16
申请号
TW097106077
申请日期
2008.02.21
申请人
三星电子股份有限公司
发明人
孙东一;金德星;赵圣行;宋源喜;郑昌赫
分类号
G02F1/1362(2006.01);G03F1/00(2006.01);H01L21/768(2006.01)
主分类号
G02F1/1362(2006.01)
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
南韩
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