一种以软式平板印刷技术制作高分子波导的方法

摘要

本发明系为一种应用软式平板印刷的方法，利用二阶段铸模工序，主模子先以负型光阻铸成，并接着转铸成聚二甲基矽氧烷模子，然后以此聚二甲基矽氧烷之矽树酯橡胶模子作为戳印，将最后的波导图案再转铸至环氧树酯上，以达到复制法制作高分子波导的目的。本发明所采用的环氧树酯在经过紫外光照射后是可固化定型的。利用本发明制作之高分子波导具有以下优点：(1)良好的波导图案转印效果，(2)低传输损失的波导特性，(3)制作成本低廉，具未来量产之潜力。此技术将可应用于积体光路或光波导元件与晶片的制程中。