调整和评估照明设备的光强度分布之方法、照明设备、曝光设备、及装置制造方法

摘要

本发明提供用于调整形成于照明设备之光瞳平面上的第一光强度分布之方法。该方法包含测量第一光强度分布；获得第一光强度径向分布及第二光强度径向分布；获得在径向方向上的第一累积光量分布及在该径向方向上的第二累积光量分布；获得在该径向方向上的该第一累积光量分布及在该径向方向上的该第二累积光量分布之间的至少三个点之各点的差；及基于在该径向方向上的该第一累积光量分布及在该径向方向上的该第二累积光量分布之间的该差调整该第一光强度分布。