用于基板传送设备且在高温下防下垂的端效器

摘要

本发明的实施方式关于用于传送半导体基板的高温防下垂端效器。本发明的一个实施方式提供一种与基板操控器结合使用的端效器。所述端效器包含一自由端，所述自由端具有一基板支撑平面，所述基板支撑平面配置为支撑基板，并位于使基板相对于水平面成一第一角度的位置。所述端效器包含一固定端，所述固定端配置为安装在所述基板操控器上，其中当没有基板设置在自由端上时，所述端效器安装在基板操控器上的基板支撑平面相对于水平面成第二角度的位置，以及所述第一角度不同于所述第二角度。