发明名称 高密度细线构装结构及其制造方法(四)
摘要 本发明高密度细线构装结构主要使两个半导体元件处在相同平面上,而非堆叠式结构。其中之一的半导体元件被直接安装在超细线路层之上,而另一半导体元件则被安装在介电层凹穴中的超细线路层之上。本发明所采用的方法中,特别是超细线路层的制作方法,主要藉着电镀而非蚀刻手段来形成,并在制程中或结束时去除用来形成超细线路层所需的载体、金属阻隔层,以增加可布线空间,实现高密度的目的。
申请公布号 TW200845238 申请公布日期 2008.11.16
申请号 TW096116546 申请日期 2007.05.09
申请人 景硕科技股份有限公司 发明人 张谦为;林定皓
分类号 H01L21/56(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L23/00(2006.01) 主分类号 H01L21/56(2006.01)
代理机构 代理人 洪尧顺
主权项
地址 桃园县新屋乡中华路1245号