发明名称 | 高密度细线构装结构及其制造方法(四) | ||
摘要 | 本发明高密度细线构装结构主要使两个半导体元件处在相同平面上,而非堆叠式结构。其中之一的半导体元件被直接安装在超细线路层之上,而另一半导体元件则被安装在介电层凹穴中的超细线路层之上。本发明所采用的方法中,特别是超细线路层的制作方法,主要藉着电镀而非蚀刻手段来形成,并在制程中或结束时去除用来形成超细线路层所需的载体、金属阻隔层,以增加可布线空间,实现高密度的目的。 | ||
申请公布号 | TW200845238 | 申请公布日期 | 2008.11.16 |
申请号 | TW096116546 | 申请日期 | 2007.05.09 |
申请人 | 景硕科技股份有限公司 | 发明人 | 张谦为;林定皓 |
分类号 | H01L21/56(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L23/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/56(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 洪尧顺 | |
主权项 | |||
地址 | 桃园县新屋乡中华路1245号 |