使用视窗之奈米微影技术

摘要

本发明系关于使用视窗改良用于将墨水自悬臂式探针转移至基材之悬臂二维阵列以自远侧观察该等悬臂。此举在大量悬臂存在时改良调平行为。其亦提供更佳雷射进入。生物阵列及组合应用系特别重要。可达成使用超过55,000个悬臂式探针之大规模平行直写印刷。