发明名称 电路基板之制造方法及半导体制造装置
摘要 本发明提供一种可稳定地制造下一代半导体装置,且可提升二次安装处理时之良率的电路基板之制造方法。本发明之电路基板之制造方法中,在回焊处理前,对使用玻璃布含浸树脂组合物形成之氰酸酯系预浸体12而制造的厚度为230 μm之电路基板11,以较上述树脂组成部固化后之玻璃转移温度高的温度进行加热。
申请公布号 TW200845250 申请公布日期 2008.11.16
申请号 TW097105483 申请日期 2008.02.15
申请人 住友电木股份有限公司 发明人 奥川良隆;作道庆一;川口均
分类号 H01L21/60(2006.01);H01L23/492(2006.01);H01L23/31(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本