用于抛光碳化矽单晶基材的水基抛光浆以及抛光方法

摘要

一种用于抛光碳化矽单晶的水基抛光浆，其中该浆包含具有1至400奈米平均粒子尺寸的磨蚀剂粒子及无机酸，且该浆具有在20℃下低于2的pH值。