具整合遮蔽电极的离子加速柱连接机构以及其方法

摘要

一种包括具整合遮蔽电极的连接机构的离子加速装置以及其方法。根据实施例，离子植入系统之离子加速装置包括：第一元件；在第一元件内之第一连接系统，第一连接系统包括第一连接器以及在第一连接器周围之第一囊封遮蔽电极；以及在不同于第一元件之第二元件内的第二连接系统，第二连接系统耦接至第一连接器；其中第一囊封遮蔽电极包括邻近于第一元件之第一介面表面的第一遮蔽部分，其中第二连接系统与第一元件介面连接，在横截面图中，第一遮蔽部分实质上为Ｕ型。