用于储存形成半导体装置用中间层绝缘膜之涂布液之方法

摘要

一种储存涂布液之方法，其系用来形成半导体装置用之中间层绝缘膜，该方法包括储存涂布液，其系用来形成半导体装置用之中间层绝缘膜，该半导体在由塑胶制得具有经润湿表面的容器中，且此涂布液包含至少一种矽烷耦合剂。