微影装置、基板台及释放晶圆之方法

摘要

一种微影装置包括一经建构及经配置以调节一辐射光束之照明系统，及一经建构及经配置以支撑一图案化元件之支撑件。该图案化元件能够在该辐射光束之横截面中赋予该辐射光束一图案以形成一经图案化之辐射光束。该装置亦包括一经建构及经配置以固持一基板之基板台，及一经建构及经配置以将该经图案化之辐射光束投影至该基板之一目标部分上的投影系统。该基板台包括经建构及经配置以支撑该基板之一底部区之对应部分的复数个突出物，及一经建构及经配置以在该基板中激励一冲击波之致动器。