用以处理电浆束缚之低电场设备

摘要

本发明提供一种处理基板之方法，系在具室壁之电浆处理室中处理基板。本方法包括提供具圆柱电极之电极设备，该圆柱电极包覆于介电衬套中，该介电衬套与室壁耦合。本方法尚包括提供一种电感性电路设备，该电感性电路设备耦合于该圆柱电极及该室壁之间。本方法尚包括产生一电浆在该电浆处理室中，以于电极设备配置于电浆处理室中期间，处理该基板。