| 摘要 |
藉由柴可劳斯基法（Czochralski method）而在炉体内从原料融液育成单晶的单晶育成装置，系具备：包围在炉体内从原料融液所育成的单晶，藉由流通在内部的冷却水冷却而将单晶加以冷却之冷却体、和检测出向此冷却体的冷却水流入流量之第1流量计、和检测出从冷却体的冷却水流出流量之第2流量计、和检测炉体内的压力之压力计、和控制部。控制部，系在藉由以第1流量计以及第2流量计检测出的流入流量及流出流量而算出流量差的同时、藉由以压力计而检测出的压力而算出每单位时间的压力变动，在流量差和压力变动系大约同时超过阈值的情况，判断为漏水。藉由此，单晶育成装置，系一边使用冷却体而谋求上拉速度的高速化、同时可以高精确度检知从该冷却体之漏水。 |
