| 摘要 |
本发明系一种定位工具(1)之x-y定位的校准方法、一种将元件(3)定位在基板(4)上的方法、一种具有定位工具(1)及图像辨识系统(2)的装置、以及一种校准以图像辨识系统(2)为基础之定位工具(1)之x-y定位的校准装置(100)。定位工具(1)之x-y定位是以图像辨识系统(2)的座标为准被校准，在这个校准模式中，步骤(i)是将定位工具(1)定位在一个网点(24)上，步骤(ii)是检测网点(24)的工具座标，步骤(iii)是以图像辨识系统(2)检测一个设置在相对于定位工具(1)的一个规定位置的基准记号(14)，步骤(iv)是以图像辨识系统(2)为准求出基准记号(14)的座标，步骤(v)是对相同或其他网点(24)重复进行步骤(i)至步骤(iv)，步骤(vi)是使网点(24)的工具座标及在图像辨识系统(2)中的座标彼此产生关联及/或彼此平衡。 |
