敏辐射线性树脂组成物

摘要

本发明的负型敏辐射线性树脂组成物其特征系含有(A)硷可溶性树脂、(B)具有2个以上的乙烯性不饱和双键，且具有至少1个之连接至少2个的乙烯性不饱和双键之2价有机基为藉由酸的作用而分解的特定的基之化合物、(C)酸产生剂、及(D)敏辐射线性自由基聚合起始剂。 依据本发明，提供图型化部分的树脂的机械强度高，可轻易地得到所望的形状，此外，在硷性条件下不仅是可镀敷，在剥离光阻的图型化部分时，亦可用一般的溶剂轻易地剥离之负型光阻。