基板洗净装置、基板洗净方法及记忆媒体

摘要

本发明的基板洗净装置（1）是一种使用让复数种药剂（例如，硫酸及过氧化氢）起反应所生成之洗净剂（例如，卡罗酸（caro's acid）），进行基板（晶圆7）的洗净之基板洗净装置（1），具备有：将复数种药剂予以混合之混合部（31）、及将利用混合部（31）所混合过后的药剂，供应至应要洗净基板（晶圆7）的表面之供应部（32）、及利用该基板（晶圆7）的表面，将利用供应部（32）所供应至基板（晶圆7）的表面之药剂予以加热之加热部（14）。尤其，混合部（31）具有用来抑制混合过后的药剂起反应之反应抑制机构（33），该反应抑制机构（33）则是用来将混合过后的药剂予以冷却之冷却机构（30）。