| 摘要 |
提供一种对坩锅内之矽熔液施加磁场，藉由久奇拉斯基(Czochralski)法自坩锅中拉起单结晶之单结晶拉起装置，为可容易地得到高氧浓度的矽单结晶之单结晶拉起装置。其系于炉体2内具备有：具有围绕着坩锅3周围之圆筒状发热部4a，藉由发热部4a之热辐射使原料矽M熔融的加热器4；与设置成围绕炉体2周围对坩锅3内之矽熔液M施加水平磁场的电磁铁13；加热器4之发热部4a中之拉起轴方向之长度尺寸h系形成为坩锅3内径之0.5~0.9倍，且加热器4之发热部4a中之拉起轴方向之第一位置系配置于电磁铁13中之拉起轴方向之第二位置之较下方，并且其等第一及第二位置之距离差d为该坩锅3内径R之0.15~0.55倍。 |
