电浆产生装置

摘要

兹提供一种电浆产生装置。该电浆产生装置包含一真空室、一静电夹盘（ESC）、一天线单元、以及一天线罩。该真空室有顶部被密封的中空内部。配置于该真空室之内中心的静电夹盘（ESC）系接收外部偏压射频（RF）。该天线单元覆盖及密封一绝缘真空吸附板的通孔。该天线罩系覆盖该天线单元的顶部且具有气体注入口。