电容耦合射频电浆反应器中之电极间隙的调整设备

摘要

本发明提供一电浆处理腔室，包括一悬臂组件，该悬臂组件用于抵消大气负载。该腔室包括一壁，该壁包围内部区域且于该壁中形成一开口。一悬臂组件，包括一基板支座，该基板支座用于在该腔室中支持一基板。该悬臂组件延伸通过该开口，以使得一部分位于该腔室外。该腔室包括一致动机构，用以将该悬臂组件相对于该壁而移动。