可降低抓举驱动式微型马达驱动电压及增加生命期的布局设计与制作方法

摘要

本发明提出一种具有低驱动电压与高生命期特性之新式抓举驱动式微型马达（SDA Micro Motor，以下简称SDA微型马达）元件的设计与制作方法，本发明为全球首度采用超低阻值矽基板（0.004 Ω-cm以下）以降低SDA微型马达驱动电压之发明（传统SDA微型马达驱动电压须30～150V#sB!o#eB!#sB!-#eB!#sB!p#eB!，本发明所完成之SDA微型马达驱动电压仅12～30 V#sB!o#eB!#sB!-#eB!#sB!p#eB!）；另外本发明也提出新式SDA结构与几何设计以有效提升SDA微型马达转动寿命（可达75小时以上）与最高转速（高达30 rpm），这些特性较知SDA微型马达明显优异许多。