发明名称 | 蚀刻废液之回收方法及其装置 | ||
摘要 | 本发明主要系利用薄膜电极沉积法(Membrane Electrodeposition)处理含有铜离子之氯化铁蚀刻废液。将氯化铁蚀刻废液置于阴极室中,其中之氯化铁完全转化为氯化亚铁后,铜离子于阴极上沉积为铜,以机械力将阴极上之铜屑刮下,铜屑随氯化亚铁溶液经过滤机将铜屑滤出。俟铜离子完全于阴极沉积除尽后,将所滤出之氯化亚铁溶液导入阳极室中。其氯化亚铁之亚铁离子于阳极室形成氯化铁,可再回收使用为蚀刻液。 | ||
申请公布号 | TW200844258 | 申请公布日期 | 2008.11.16 |
申请号 | TW096116986 | 申请日期 | 2007.05.14 |
申请人 | 先丰通讯股份有限公司 | 发明人 | 郑文锋;熊祖德;孙尚培 |
分类号 | C23F1/46(2006.01) | 主分类号 | C23F1/46(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 桃园县观音乡观音工业区经建一路16号 |