DISPOSITIVO DE VACIO.

摘要

Dispositivo de vacío con varias bombas (10) criogénicas conectadas con una o varias cámaras de vacío, una unidad (16) de compresor conectada a través de conductos (12) de alimentación de medio y conductos (14) de realimentación de medio con las bombas (10) criogénicas, una unidad (18) de ajuste conectada aguas arriba de al menos una de las bombas (10) criogénicas para el control de la cantidad de medio alimentada a la bomba (10) criogénica, un dispositivo de medición de temperatura conectado a la bomba (10) criogénica y una unidad (28) de control conectada con la unidad (18) de ajuste y con el dispositivo de medición de temperatura caracterizado porque la unidad (18) de ajuste presenta una unidad (24) de estrangulación dispuesta en el correspondiente conducto (12) de alimentación de medio y una válvula (26) dispuesta dentro de un conducto (22) de derivación de estrangulación.