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发明名称
VERFAHREN ZUR GERÄTEANPASSUNG UND FEHLERBESEITIGUNG IN EINEM PLASMABEARBEITUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号
AT413687(T)
申请公布日期
2008.11.15
申请号
AT20030770493T
申请日期
2003.09.26
申请人
LAM RESEARCH CORPORATION
发明人
AVOYAN, ARMEN;JAFARIAN-TEHRANI, SEYED
分类号
H01J37/32
主分类号
H01J37/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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