发明名称 VERFAHREN ZUR GERÄTEANPASSUNG UND FEHLERBESEITIGUNG IN EINEM PLASMABEARBEITUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号 AT413687(T) 申请公布日期 2008.11.15
申请号 AT20030770493T 申请日期 2003.09.26
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 AVOYAN, ARMEN;JAFARIAN-TEHRANI, SEYED
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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