| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG STRUKTURIERTER SCHICHTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT412256(T) |
申请公布日期 |
2008.11.15 |
| 申请号 |
AT20030012228T |
申请日期 |
2003.06.06 |
| 申请人 |
FUJIFILM CORPORATION |
发明人 |
SHIBATA, NORIO;NAKADA, JUNJI;FUJINAWA, JUN |
| 分类号 |
H01L51/40;B41M5/00;C23C14/00;C23C14/08;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/768;H01L27/32;H01L31/18;H01L51/00;H01L51/30;H01L51/56 |
主分类号 |
H01L51/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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