发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES HALBLEITERBAUELEMENTS MIT BANDENTWORFENEM SUPERGITTER
摘要
申请公布号 DE602004016855(D1) 申请公布日期 2008.11.13
申请号 DE200460016855T 申请日期 2004.06.28
申请人 MEARS TECHNOLOGIES INC. 发明人 MEARS, ROBERT J.;YIPTONG, JEAN AUGUSTIN;HYTHA, MAREK;KREPS, SCOTT A.;DUKOVSKI, ILIJA
分类号 H01L29/15;H01L21/8238;H01L29/10;H01L29/78 主分类号 H01L29/15
代理机构 代理人
主权项
地址