| 发明名称 |
Verfahren zur Bearbeitung von Material durch Schwerionenbestrahlung und nachfolgenden Ätzprozess |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE102006050023(B4) |
申请公布日期 |
2008.11.13 |
| 申请号 |
DE200610050023 |
申请日期 |
2006.10.19 |
| 申请人 |
IST - IONEN STRAHL TECHNOLOGIE - GMBH |
发明人 |
DANZIGER, MANFRED |
| 分类号 |
B01D67/00;B29C59/16;B81C1/00;H05K3/02;H05K3/07 |
主分类号 |
B01D67/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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