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发明名称 Zerstäubungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60135956(D1) 申请公布日期 2008.11.13
申请号 DE20016035956 申请日期 2001.07.25
申请人 ULVAC INC. 发明人 TANI, NORIAKI;SAITO, KAZUHIKO;SUU, KOUKOU
分类号 C23C14/34;H01J37/34;C23C14/08;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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