Messsystem mit verbesserter Auflösung für Strukturen auf einem Substrat für die Halbleiterherstellung und Verwendung von Blenden bei einem Messsystem

摘要

Es ist ein Messsystem mit verbesserter Auflösung fie Halbleiterherstellung offenbart. Blendenstrukturen unterschiedlicher Geometrie sind im Beleuchtungsstrahlengang vorgesehen, die sich bezüglich der Transmissionseigenschaften von Licht unterscheiden und die Intensitätsverteilung der Beugungsordnungen in der abbildenden Pupille des optischen Systems ändern.