发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR SOI-HALBLEITERBAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DE60223910(T2) 申请公布日期 2008.11.13
申请号 DE20026023910T 申请日期 2002.03.25
申请人 UNIVERSITE CATHOLIQUE DE LOUVAIN 发明人 FLANDRE, DENIS;NEVE DE MEVERGNIES, AMAURY;RASKIN, JEAN-PIERRE
分类号 H01L21/336;H01L21/335;H01L21/762;H01L29/423;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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