一体化傅立叶光谱仪

摘要

本发明属于光谱仪器技术领域，提供了一种一体化傅立叶光谱仪，包括分束棱镜和阵列式光敏器件，所述分束棱镜为一种近似直角分束棱镜，包括第一和第二两个相邻平面，分束面平分该两个平面之间所形成的近似直角而非直角的夹角，该夹角与直角之差小于1°，第一平面(A)与第二平面(B)均为阶梯形反射光栅面，被测平行光到达所述分束棱镜之后，分成两部分，一部分透过分束面后到达第二平面(B)，由该平面反射后再由分束面反射达到阵列式光敏器件，另一部分光由分束面反射后到达第一平面(A)，经该平面反射后透过分束面达到阵列式光敏器件。本发明提供的光谱仪，构造极为简单，既具高速度，稳定可靠，又具高灵敏度和高分辨率，还不需运动部件。

主权项

1.一体化傅立叶光谱仪，包括一个分束棱镜和阵列式光敏器件，所述分束棱镜为一种近似直角分束棱镜，包括第一和第二两个相邻平面，分束面平分该两个平面之间所形成的近似直角而非直角的夹角，该夹角与直角之差小于1°，被测平行光到达所述分束棱镜之后，分成两部分，一部分透过分束面后到达第二平面(B)，由该平面反射后再由分束面反射达到阵列式光敏器件，另一部分光由分束面反射后到达第一平面(A)，经该平面反射后透过分束面达到阵列式光敏器件。