气体阀门

摘要

一种气体阀门，用以装设在一机台中。气体阀门包括一侧壁、一底板、一顶板、一密封元件、一滑动杆及一夹持件。侧壁具有一第一开口，底板连接于侧壁，底板具有一第二开口，顶板具有一第三开口，顶板连接于侧壁，顶板、侧壁及底板形成一空间。密封元件与第二开口相对应设置。滑动杆的一端连接于密封元件，另一端穿越第三开口并凸出于空间之外。滑动杆带动密封元件在空间内滑动，使得密封元件可密封或开启第二开口。夹持件设置在顶板上，用以夹持滑动杆，使得滑动杆与顶板之间维持一预设的角度。

主权项

1.一种气体阀门，装设在一机台中，用以达成所述机台的一真空状态或一非真空状态，所述气体阀门包括一壳体和一密封组件，其中：所述壳体，具有；一第一开口，与一抽气泵连通；一第二开口，与一反应室连通；和一第三开口，与所述第二开口的位置对应并贯穿所述壳体；所述密封组件，组装在所述壳体处，所述密封组件包括：一密封元件，设置在所述壳体的一内部空间中并与所述第二开口相对应；一滑动杆，一端连接于所述密封元件，另一端穿越所述第三开口并凸出于所述空间之外，所述滑动杆带动所述密封元件在所述空间内滑动，使得所述密封元件密封或开启所述第二开口；以及一夹持件，设置在顶板上，用以夹持所述滑动杆，使得所述滑动杆与所述顶板之间维持一预设的角度，其中所述夹持件具有一内径，该内径接近并略大于滑动杆的直径，所述内径小于所述第三开口的直径。