有机电致发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明是从已形成薄膜晶体管的基板侧取出有机EL层发光的底部发光结构，以及从与已形成薄膜晶体管的基板相反侧取出有机EL层发光的顶部发光结构的有源型有机EL显示装置，各自结构中的适宜的层(102、106、107)是含有SiO的绝缘膜，并且形成膜中具有微小空孔的多孔绝缘膜。此时，由于控制多孔绝缘膜的膜密度、膜折射率、膜中的空孔径、膜中的平均空孔径、膜中的极大空孔径，故折射率比夹持有机EL层的透明电极或显示装置的透明基板低，且由于膜中存在微小空孔故可得到光散射效果。因此，实现高效率地对外部取出来自有机EL层(110)的发光。

主权项

1.有源型有机电致发光显示装置，是在已形成有薄膜晶体管的有源型有机电致发光显示装置中，其特征在于，在与有机电致发光层相接的透明电极和对外部取出来自有机电致发光层发光的面之间，形成膜中具有微小空孔的多孔质且含有SiO的多孔绝缘膜，前述多孔绝缘膜的膜密度具有0.6g/cm3以上、不足1.8g/cm3的特性，折射率具有比前述透明电极低的特性。