发光二极管的制作方法

摘要

本发明涉及一种发光二极管的制作方法，包括下步骤：采用具有六方晶格的外延衬底；在外延衬底表面生长发光层；采用导电支撑衬底；将导电支撑衬底同外延衬底表面的发光层键合；除去外延衬底。本发明的优点在于，采用具有六方晶像的外延衬底生长发光层，可以保证发光层的晶体质量；采用同导电支撑衬底键合并剥离外延衬底的方法，解决了外延衬底不导电、无法制作垂直结构的技术问题。

主权项

1.一种发光二极管的制作方法，包括下列步骤：(1)采用具有六方晶格的外延衬底，用金属有机物化学气相淀积的方法，在外延衬底表面生长发光层；(2)采用掺杂的单晶硅衬底作为导电支撑衬底，将导电支撑衬底同外延衬底表面的发光层键合；(3)除去外延衬底。