| 发明名称 | 酚聚合物以及包含该酚聚合物的光刻胶 | ||
| 摘要 | 本发明涉及新的聚合物，其包含与聚合物骨架间隔开的酚基团和光酸不稳定基团。本发明优选的聚合物可用作化学增强型正性光刻胶的组分。 | ||
| 申请公布号 | CN101303526A | 申请公布日期 | 2008.11.12 |
| 申请号 | CN200810109247.1 | 申请日期 | 2008.03.12 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | J·F·卡梅隆 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);C08F220/14(2006.01);C08F220/30(2006.01);C08F220/18(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 郭辉 |
| 主权项 | 1、一种包含光活性组分和树脂的光刻胶组合物，所述树脂包含i)一个或多个间隔酚基团和ii)一个或多个光酸不稳定基团。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||