发明名称 |
双极电离系统的偏移电压控制方法 |
摘要 |
本发明公开了一种脉冲模式电离系统的偏移电压控制方法,其中电离系统包括正极和负极电源。正极和负极电源的输出的工作周期和重叠率受到控制,且对可以获得预期偏移电压的重叠率进行确定。偏移电压和相应的重叠率存储在存储器中。根据已存储的偏移电压的比较关系对正极和负极电源的输出的工作周期和重叠率进行控制以获得预期的偏移电压。 |
申请公布号 |
CN100433476C |
申请公布日期 |
2008.11.12 |
申请号 |
CN03124928.0 |
申请日期 |
2003.09.19 |
申请人 |
伊利诺斯工具公司 |
发明人 |
约翰·戈尔奇察;戴维·D·里根 |
分类号 |
H01T19/00(2006.01);H01T23/00(2006.01) |
主分类号 |
H01T19/00(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
林潮;顾红霞 |
主权项 |
1.一种双极电离装置,包括:带有输出电路的正极高电压电源,该输出电路至少带有一个与其连接的正极离子发射电极以产生正离子;带有输出电路的负极高电压电源,该输出电路至少带有一个与其连接的负极离子发射电极以产生负离子;和控制器,它通过使正极和负极高电压电源的输出实现一个非零的选定期间的重叠的方式来控制正极和负极高电压电源的输出电路的工作周期,以获得预期的偏移电压。 |
地址 |
美国伊利诺斯州 |