发明名称 METHOD FOR THE PATTERNED COATING OF A SUBSTRATE AND COATED SUBSTRATE USING THE METHOD
摘要
申请公布号 KR100868386(B1) 申请公布日期 2008.11.12
申请号 KR20047016391 申请日期 2004.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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