制造具有金红石结构的透明氧化钛涂层的方法

摘要

本发明涉及制造氧化钛涂层的方法，还涉及具有所述涂层的制品，尤其是灯、照明或光学元件。为了开发普通类型的方法，以便具有金红石的涂层被大大简化，并能在较低的工艺温度下实现，以及按照这种方法找到合适的涂层表面，本发明提出在100-300℃的沉积温度下由钛靶通过溅射将涂层在能限定的氧分压p下沉积到要被涂覆的基材表面上，并获得金红石结构。

主权项

1.一种透明热稳定涂层，包含具有金红石结构的二氧化钛，特征在于该涂层在能限定的氧分压p下在20-300℃的沉积温度下由钛靶通过溅射沉积到要被涂覆的基材表面上，其中离子溅射功率密度为9-15W/cm2 并且氧分压为p≤100mPa，其中，在550nm波长处，该涂层：折射率为n＝2.65至n＝2.75；和在800℃的炉中退火15小时后，保持折射率为n＝2.65至n＝2.75。